| 国家/地区 | 中国(3) |
| IPC部 | H(3) |
| IPC大类 | H01(3) |
| IPC小类 | H01L(3) |
| IPC |
H01L021/28(2)
H01L021/336(2)
H01L029/78(2)
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| 发明人 |
LIU X(3)
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| 公开年 |
2013(3)
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| 申请年 | 2012(2) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(3)
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WANG H, XIE X, TANG S, WU T, XIE H, LIU X, SONG Y, SUN Q
KANG X, LIU X, SUN Q, WANG H, XIE H, XIE X
