国家/地区 中国(3)
IPC部 H(3)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L021/28(2) H01L021/336(2) H01L029/78(2)
发明人 LIU X(3)
公开年 2013(3)
申请年 2012(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(3)