国家/地区 美国(3)
IPC部 H(3) B(2) G(2)
IPC大类 H01(3) B01(2) G01(2)
IPC小类 H01L(3) B01L(2) G01N(2)
IPC H01L029/16(3) B01L003/00(2) G01N027/414(2)
H01L029/66(2)
发明人 LOVERSO S(3)
公开年 2016(2)
申请年 2015(3)
专利权人 STMICROELECT.(2)