国家/地区 日本(3) 美国(3)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2) H01M(2)
IPC C01B031/02(2) H01L031/0224(2)
发明人 NAITO K(3)
公开年 2013(2)
申请年 2013(3)
专利权人 TOSHIBA KK(3)