国家/地区 日本(3) 美国(3)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2) H05(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) H01B(2)
H05B(2)
IPC H01L031/0224(3) C01B031/02(2) H01L051/42(2)
H05B033/26(2)
发明人 NAITO K(3)
公开年 2013(3)
申请年 2013(2) 
专利权人 TOSHIBA KK(3)