| 国家/地区 | 韩国(4) 美国(3) |
| IPC部 |
C(3)
G(3)
H(3)
|
| IPC大类 |
H01(3)
C01(2)
C23(2)
G02(2) |
| IPC小类 |
H01L(3)
C01B(2)
C23C(2)
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| IPC | C01B032/184(2) |
| 发明人 |
PARK J(5)
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| 公开年 | 2020(3) |
| 申请年 |
2018(5)
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| 专利权人 | KOREA INST S.(2) |
PARK J, SIM Y, KIM J, SIM Y M, PARKJAEHYUN
SONG Y, UDDIN M S, PARK J, PARKJAEHYUN
POLYZOS G, SHARMA J K, VLASSIOUK I V, SCHAFFER D A, DATSKOS P G, LACLAIR T J, PARK J
