国家/地区 韩国(4) 美国(3)
IPC部 C(3) G(3) H(3)
IPC大类 H01(3) C01(2) C23(2)
G02(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) C23C(2)
IPC C01B032/184(2)
发明人 PARK J(5)
公开年 2020(3)
申请年 2018(5)
专利权人 KOREA INST S.(2)