国家/地区 中国(8)
IPC部 B(4) H(4) C(3)
G(2)
IPC大类 H01(4) G01(2)
IPC小类 H01L(3) G01J(2)
IPC G01J011/00(2) H01L031/113(2) H01L031/18(2)
发明人 QIN S(8)
公开年 2017(8)
申请年 2016(7) 
专利权人 UNIV NAT DEF.(2)