国家/地区 中国(3)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 H01(2)
IPC小类 H01L(2)
IPC H01L041/18(2) H01L041/37(2)
发明人 REN D(3)
公开年 2021(3)
申请年 2020(2) 
专利权人 ZHEJIANG LAB(2)