国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2)
IPC部 H(3) G(2)
IPC大类 H01(3) G01(2)
IPC小类 H01L(3) G01J(2)
IPC G01J001/04(2) G01J001/42(2) G01J003/51(2)
H01L027/146(2) H01L029/16(2)
发明人 ROUVALA M(3)
公开年 2016(2)
申请年
专利权人 NOKIA TECHNOLOGIES OY(3)