国家/地区 中国(3)
IPC部 H(3) G(2)
IPC大类 H01(3) G01(2)
IPC小类 H01L(3) G01J(2)
IPC H01L027/146(3) G01J001/04(2) G01J001/42(2)
G01J003/51(2) H01L029/16(2)
发明人 ROUVALA M(3)
公开年
申请年
专利权人 NOKIA CORP(3) NOKIA TECHNO.(2)