| 国家/地区 | 中国(3) 德国(3) 美国(3) |
| IPC部 | H(3) C(2) |
| IPC大类 | H01(3) C01(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C01B(2) |
| IPC |
H01L029/16(3)
C01B031/04(2)
H01L021/02(2)
H01L021/324(2) |
| 发明人 |
RUHL G(3)
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| 公开年 |
2016(3)
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| 申请年 | 2015(2) |
| 专利权人 | INFINEON TEC.(3) |
IRSIGLER P, RUHL G, SCHULZE H, SHULZ H, RUHR G, ILSGLLE P
