| 国家/地区 | 日本(3) 台湾(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) |
| IPC部 | H(3) C(2) |
| IPC大类 | H01(3) C01(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C01B(2) |
| IPC |
H01L029/06(3)
C01B031/02(2)
C01B032/182(2)
H01L021/3205(2) H01L021/768(2) H01L023/532(2) H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/786(2) |
| 发明人 |
SATO S(3)
|
| 公开年 |
2014(3)
|
| 申请年 | 2014(2) |
| 专利权人 | DOKURITSU GY.(3) FUJITSU LTD(3) NAT INST ADV.(3) |
SATO S, YAMADA A, YAGI K, TAKAHASHI M
YAMAGUCHI J, SATO S, YAMADA H, TANAKA K, YAMADA Y
