| 国家/地区 | 日本(2) 美国(2) |
| IPC部 | H(3) C(2) |
| IPC大类 | H01(3) C01(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C01B(2) |
| IPC |
H01L021/02(3)
H01L021/336(3)
H01L029/16(3)
H01L029/786(3) C01B031/02(2) H01L029/66(2) H01L029/778(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2) H01L051/40(2) |
| 发明人 |
SATO S(3)
|
| 公开年 |
2015(3)
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| 申请年 | |
| 专利权人 | FUJITSU LTD(3) |
SATO S, JIPPO H, OHFUCHI M, OFUCHI M
