国家/地区 日本(2) 美国(2)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC H01L021/02(3) H01L021/336(3) H01L029/16(3)
H01L029/786(3) C01B031/02(2) H01L029/66(2)
H01L029/778(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2)
H01L051/40(2)
发明人 SATO S(3)
公开年 2015(3)
申请年
专利权人 FUJITSU LTD(3)