| 国家/地区 | 韩国(5) 美国(3) 中国(2) |
| IPC部 | C(5) H(4) |
| IPC大类 |
C01(4)
H01(4)
C23(3)
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| IPC小类 |
C01B(4)
C23C(3)
H01L(3)
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| IPC |
C01B031/04(2)
C01B032/186(2)
C23C016/26(2)
H01L021/02(2) |
| 发明人 |
SON M W(5)
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| 公开年 | 2016(2) |
| 申请年 | 2018(2) |
| 专利权人 | GWANGJU INST.(4) |
KIM Y H, SON M W, KIM Y, SUN M
HAM M H, SON M W, MYUNGWOO S
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
