国家/地区 韩国(5) 美国(3) 中国(2)
IPC部 C(5) H(4)
IPC大类 C01(4) H01(4) C23(3)
IPC小类 C01B(4) C23C(3) H01L(3)
IPC C01B031/04(2) C01B032/186(2) C23C016/26(2)
H01L021/02(2)
发明人 SON M W(5)
公开年 2016(2)
申请年 2018(2) 
专利权人 GWANGJU INST.(4)