国家/地区 世界知识产权组织(4)
IPC部 C(4) B(3)
IPC大类 C01(4) C23(4) B82(2)
C30(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(4) B82Y(2)
C30B(2)
IPC C01B031/04(3) C23C016/02(3) C23C016/26(3)
B82Y040/00(2) C23C016/50(2)
发明人 TANG S(4)
公开年 2012(3)
申请年 2011(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)