国家/地区 中国(6)
IPC部 C(4) H(2)
IPC大类 C01(4) H01(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(2)
IPC C01B031/04(4) H01L029/78(2)
发明人 TANG Z(6)
公开年 2012(3) 2013(3)
申请年 2012(6)
专利权人 UNIV SHANGHA.(4) BEIJING ZHON.(2)