国家/地区 日本(5)
IPC部 C(4) H(4) B(2)
IPC大类 H01(4) C01(2) C09(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC H01L021/205(2) H01L029/16(2) H01L029/66(2)
H01L051/30(2)
发明人 WANG X(5)
公开年 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人

QIAO J, WANG S, ZHANG X, QI G, SONG Z, CAI C, WANG X, LAI J, LI B, JIANG H, RU Y, ZHANG J, GAO J, ZHANG H, HAN P, JIANG C, GUO Z, GUICUN Q, ZHIHAI S, BINGHAI L, JIANMING G, ZHAOYAN G, SOONGHEO W, LIU Y, JIANG X

KIM H, PARK C H, OKAYASU T, WANG X, PAWLOWSKI G, HAMA Y, KIM H W, WANG X W, XIAOWEI W, GEORG P, YUSUKE H