国家/地区 中国(4)
IPC部 H(3)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L021/02(3) H01L029/165(2)
发明人 XIN B(4)
公开年 2018(4)
申请年 2017(4) 
专利权人 UNIV CHONGQI.(3)