国家/地区 中国(8)
IPC部 H(4) C(3) B(2)
IPC大类 H01(3) B82(2) C01(2)
IPC小类 B82Y(2) C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/04(2)
发明人 XU C(8)
公开年 2013(3) 2018(2)
申请年 2013(4)  2018(2) 
专利权人 UNIV SOUTHEAST(8)