国家/地区 中国(5)
IPC部 C(3) G(3)
IPC大类 G01(3) C23(2)
IPC小类 G01N(3) C23C(2)
IPC G01N027/30(2)
发明人 XU P(5)
公开年 2021(3)
申请年 2021(3) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)