国家/地区 美国(4) 世界知识产权组织(4) 中国(3)
IPC部 B(3) C(3) H(3)
IPC大类 B82(3) C01(3) H01(3)
B32(2) C03(2) C23(2)
IPC小类 B82Y(3) C01B(3) B32B(2)
C23C(2) H01L(2)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/04(2)
C23C016/26(2)
发明人 YAGER T A(4)
公开年 2012(4)
申请年 2010(2)  2011(2) 
专利权人 EMPIRE TECHN.(4) ISLAND GIANT.(3)