国家/地区 美国(4)
IPC部 B(3) C(3) H(3)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/02(2)
发明人 YANG E(4)
公开年 2014(2)
申请年
专利权人 STEVENS INST.(2)