国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C01(3) H01(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC C01B032/186(2)
发明人 ZHENG X(3)
公开年 2017(3)
申请年 2015(3) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(3)