国家/地区 日本(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B01(3)
IPC小类 B01J(3) C01B(3) B82Y(2)
C23C(2) H01L(2) H01M(2)
IPC B01J021/04(3)
发明人
公开年
申请年
专利权人