国家/地区 | 中国(3) 美国(3) |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B32(4)![]() |
IPC小类 |
B32B(4)
C01B(3)
C23C(2)
H01L(2) |
IPC |
B32B037/10(4)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2014(4)![]() |
申请年 | 2013(2) 2014(2) |
专利权人 |
YANG C, LIU D, DAI S, HONG Q, LIN Z, YAN S
KAGAWA S, SEIJI K