国家/地区 中国(3) 美国(3)
IPC部 B(4)
IPC大类 B32(4)
IPC小类 B32B(4) C01B(3) C23C(2)
H01L(2)
IPC B32B037/10(4)
发明人
公开年 2014(4)
申请年 2013(2)  2014(2) 
专利权人