国家/地区 美国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82Y(3) C23C(3) B05D(2)
B32B(2) B82B(2) C01B(2)
H01L(2)
IPC B82Y010/00(3)
发明人
公开年 2013(3)
申请年 2012(2) 
专利权人