国家/地区 美国(5) 世界知识产权组织(3) 韩国(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 B32(5)
IPC小类 B32B(5) C01B(5) B82Y(4)
B05D(2) C23C(2) C30B(2)
H01L(2)
IPC C01B031/00(5)
发明人
公开年 2009(5)
申请年 2009(3)  2008(2) 
专利权人

AKSAY I A, KORKUT S, MILIUS D L, PRUDHOMME R K, PRUD HOMME R K, AKSAY I, MILIUS D, PRUDHOMME R, PRUD H R K, PRUD APOS HOMME R K