国家/地区 美国(14) 中国(11) 日本(8) 韩国(7) 世界知识产权组织(7) 欧洲专利局(EPO)(6) 印度(3) 加拿大(2) 台湾(2)
IPC部 C(15)
IPC大类 C01(15)
IPC小类 C01B(15)
IPC C01B031/00(15)
发明人 HIROHASHI T(2)
公开年 2012(15)
申请年 2012(10)  2011(5) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)