国家/地区 日本(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 B82(6) C01(6) H01(5)
IPC小类 B82Y(6)
IPC C01B032/15(6)
发明人 TODORIKI H(2) TODOROKI H(2)
公开年 2012(3) 2013(3)
申请年 2012(6)
专利权人 SEMICONDUCTO.(3) TODORIKI H(2)