| 国家/地区 | 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 日本(2) |
| IPC部 |
B(3)
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| IPC大类 |
C01(3)
|
| IPC小类 |
C01B(3)
B82Y(2)
C23C(2)
C30B(2) H01L(2) |
| IPC |
C01B031/04(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2015(3)
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| 申请年 | |
| 专利权人 |
CASTRO A H, OZYILMAZ B, STIER A V, TOH C T, DU Z, CASTRO N A H
RUSSO S, CRACIUN M, BOINTON T H
