国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 日本(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3) B82Y(2) C23C(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(3)
发明人
公开年 2015(3)
申请年
专利权人