| 国家/地区 | 韩国(3) |
| IPC部 | C(4) B(2) |
| IPC大类 |
C23(4)
C01(2)
C08(2)
C09(2) |
| IPC小类 |
C23C(4)
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| IPC |
C23C014/06(4)
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| 发明人 | AHN S(2) KIM M J(2) |
| 公开年 | |
| 申请年 | 2016(3) |
| 专利权人 |
KOREA INST SCI TECHNOLOGY(4)
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KIM M J, JANG S G, AHN S, TAE Y H, KIM J H, KIM H
KIM M J, SEO T H, LEE S, KIM S M, AHN S, BAE S, SON D I
JOONGKEE L, WONCHANG C, HUNGI J, CHAIRUL H, JAEYOUNG W, JIYOUNG K, JOOMAN W, AYOUNG K
