| 国家/地区 | 美国(4) 中国(3) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(7)
|
| IPC大类 |
C23(7)
C01(5)
B32(3)
B01(2) B05(2) C30(2) H01(2) |
| IPC小类 |
C23C(7)
C01B(5)
B32B(3)
B01J(2) B05D(2) C30B(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C014/06(7)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2016(7)
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| 申请年 | 2015(4) 2016(2) |
| 专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
DIMITRAKOPOULOS C, MAROUDAS D, MUNIZ A R, GASKILL D K
KIM D, CHOI S, HYEON T, KIM S, CHO H, CHO K, HONG C S, HWAN H T, HYEONG K D, JU K S, RIM C H, WON C G
