国家/地区 美国(4) 中国(3) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 C23(7) C01(5) B32(3)
B01(2) B05(2) C30(2)
H01(2)
IPC小类 C23C(7) C01B(5) B32B(3)
B01J(2) B05D(2) C30B(2)
H01L(2)
IPC C23C014/06(7)
发明人
公开年 2016(7)
申请年 2015(4)  2016(2) 
专利权人