| 国家/地区 | 中国(2) 美国(2) |
| IPC部 | C(4) B(3) |
| IPC大类 |
C01(4)
C23(4)
B82(3)
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| IPC小类 |
C01B(4)
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| IPC |
C23C014/06(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 |
2012(4)
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| 专利权人 |
