国家/地区 中国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 B32(6)
IPC小类 B32B(6)
IPC C23C014/06(6)
发明人
公开年
申请年 2013(2) 
专利权人

HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H