国家/地区 中国(4) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) B32B(2) B82Y(2)
C01B(2) C09D(2) H01L(2)
IPC C23C014/12(6)
发明人 LI Z(2)
公开年 2021(2)
申请年 2022(2) 
专利权人