| 国家/地区 | 中国(2) |
| IPC部 | C(3) |
| IPC大类 |
C01(3)
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| IPC小类 | C01B(3) C23C(3) |
| IPC |
C23C014/14(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 |
2012(3)
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| 专利权人 |
REN F, YING J, JIANG C, XIAO X, DAI Z
