国家/地区 中国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B01(4)
IPC小类 C23C(4) B01J(3) B82Y(2)
C01B(2)
IPC C23C014/16(4)
发明人
公开年 2021(2)
申请年 2021(2) 
专利权人