| 国家/地区 | 美国(4) 世界知识产权组织(3) 中国(2) |
| IPC部 |
C(5)
|
| IPC大类 |
C01(5)
|
| IPC小类 |
C01B(5)
C23C(5)
B82Y(2)
C30B(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C014/28(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2022(2) |
| 申请年 | 2022(2) |
| 专利权人 |
ZERGIOTI I, PAPAZOGLOU S, ZACHARATOS F, LOGOTHETI A, PESQUERA A, ZURUTUZA A, NAVEH D
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
