国家/地区 韩国(4) 美国(4) 中国(3)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(4) B32B(3)
C25D(2) C30B(2) H01L(2)
IPC C23C014/34(6)
发明人
公开年 2016(6)
申请年 2016(4)  2015(2) 
专利权人