| 国家/地区 | 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | B(3) C(3) |
| IPC大类 |
B32(3)
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| IPC小类 |
B32B(3)
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| IPC |
C23C014/58(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
