| 国家/地区 | 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 |
C01(3)
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| IPC小类 |
C01B(3)
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| IPC |
C23C014/58(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
PAN M, QIU W, HU J, LI P, PENG J, HU Y, ZHANG Q
