国家/地区 中国(2) 日本(2) 美国(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4) C23(4) B82(3)
B32(2) H01(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C016/01(4)
发明人
公开年 2013(4)
申请年 2012(3) 
专利权人