国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) B82(3)
H01(3) B32(2) C04(2)
C30(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/02(5)
发明人
公开年 2015(5)
申请年 2013(2)  2014(2) 
专利权人