国家/地区 德国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) B82Y(3) B32B(2)
B82B(2) C01B(2) C23F(2)
H01L(2)
IPC C23C016/02(4)
发明人
公开年 2013(2)
申请年
专利权人