国家/地区 美国(6) 韩国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 B82(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/06(7)
发明人 NAGEL C J(5) BRODEUR C L(4)
公开年 2021(4)
申请年 2020(3) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(5)