国家/地区 |
美国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)
H01(4)
C01(3)
|
IPC小类 |
C23C(4)
C01B(3)
H01L(3)
|
IPC |
C23C016/06(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2015(2) |
申请年 |
2015(4)![]() |
专利权人 |
ZHAMU A, JANG B Z, ZHAMUARUNA
NAITO K, TSUTSUMI E, YOSHINAGA N, AKASAKA Y
LIPOMI D J, ZARETSKI A, LIPOMI D
JEONG S, PARK S, SHIN H, GU Y, KIM H, YANG J, GU Y H, JEONG S J, KIM H S, PARK S J, SHIN H J, YANG J H