国家/地区 中国(5) 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6) G01(5) C01(4)
B82(2) H01(2)
IPC小类 C23C(6) C01B(4) G01N(4)
B82Y(2)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2017(6)
申请年 2017(4)  2016(2) 
专利权人 SHANGHAI INS.(2)