| 国家/地区 | 中国(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(6)
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| IPC大类 |
B01(6)
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| IPC小类 |
B01J(6)
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| IPC |
C23C016/26(6)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(4) |
| 申请年 |
2020(6)
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| 专利权人 |
LEE S H, HAJUNSEOK, RHO H K, RYU H S
HAVERMANS D, SALLARD S, SHAFIQUE A, VANGENEUGDEN D, VANHULSEL A, HARDY A, SALAH S, SHAFIK A, VAN GENUGDEN D, HARDY N
IONEBRASU D, ANDREI R D, JIANU C, ENACHE S, ENACHE A, CARCADEA E, VARLAM M, JIANU C C
NING J, FENG X, WANG D, ZHANG J, MU M, HAO Y
