国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) B32B(4) C01B(4)
B05D(3) H01L(3) B82Y(2)
C30B(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2009(2) 2011(2)
申请年 2009(5)
专利权人