国家/地区 | 中国(2) 日本(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B82(6)![]() |
IPC小类 |
B82Y(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2019(2) 2020(2) 2021(2) |
申请年 |
2019(6)![]() |
专利权人 |
IFUKU R, MATSUMOTO T, FUJIO A, SAITO K, RYOTA I, TAKASHI M, AKIRA F, KOUSAKU S