国家/地区 中国(4) 美国(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人 ZHANG Y(5)
公开年 2022(3)
申请年 2022(3) 
专利权人 CHINESE ACAD.(3) CHONGQING GR.(3)